10月16日，山东首条生产山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目通线仪式在德州天衢新区举行，英寸用该项目一期投资25亿元，集成达产后可实现12英寸抛光片月产10万片，电路是硅片中国有研布局的重点项目，也是线通线山东省内第一条12英寸集成电路用大硅片生产线。

     　　12英寸硅片的山东首条生产面积是8英寸的2.25倍，可使用率是英寸用8英寸的2.5倍左右，单片可产出的集成芯片数量增加，经济效益明显，电路随着集成电路制程和工艺的硅片发展，硅片趋向大尺寸化和制程精细化，线通线12英寸硅片为当前及未来较长时间内的山东首条生产主流产品。

     　　通线仪式前一日，记者走进山东有研艾斯生产车间，集成整个操作车间一尘不染，生产硅片对洁净环境要求非常高，在每个车间，工人们都穿着洁净服进行操作，在线切割车间，单晶硅经过切割机操作被切割成厚度仅一毫米的硅片，而这仅仅是硅片切割的首个环节。

     　　“硅片制作程序非常复杂，有线切割、倒角、研磨等40-50道工序，对平整度要求极高，硅片直径300毫米，而头发直径只有100微米，但最终硅片出厂时最高与最低的平整度误差不能超过0.1微米。”山东有研艾斯总经理闫志瑞举例介绍道。

     　　清洗检测是硅片出厂前的最后一道程序，透过操作车间玻璃可以看到，工作人员正操作专用仪器查看硅片表面颗粒数量及尺寸。“我们是山东唯一一家生产12英寸大硅片的企业，硅片直径越大，对材料和技术的要求就越高，制造难度也越大，生产过程涉及亚微米甚至纳米级别的结构，工艺稳定性、产品质量参数一致性、单台设备产能和产品单位成本持续降低控制等都是我们需要考虑的因素。”闫志瑞告诉记者。

     　　据悉，12英寸硅片技术参数要求比8英寸更高，各工艺环节需要长期积累，其中单晶工艺是最为核心的技术，其决定了硅片尺寸、电阻率、纯度、氧含量、位错、晶体缺陷，山东有研艾斯攻克了单晶微缺陷、硅片几何尺寸、硅片表面沾污等关键技术指标，已在多家国内外知名集成电路制造企业开展产品验证。

     　　硅片是集成电路的基石，有研先后在德州投资近100亿元在德州建设了7个项目，8英寸硅片、高纯溅射靶材等4个项目已建成投产。8月18日，刻蚀设备用硅材料及硅片扩产项目开工建设。总投资62亿元的12英寸大硅片项目，于去年4月开工建设。

     　　“从8英寸到12英寸不仅仅是尺寸的变大。”闫志瑞坦言，目前12英寸是全世界直径最大的主流产品，硅片的直径越大，可利用的面积比例越高，每一个集成块的成本就越低，追根到底是一个成本的降低，该项目同样也是山东省唯一一家制作12英寸硅片的厂家，全部达产后将形成360万片/年大硅片的生产规模，彻底改变我国依赖进口的局面。

     　　德州集成电路产业历经10年发展，从无到有，从起步到起势，正处在加速发展期。目前，已初步形成涵盖半导体材料、芯片设计、封装测试、终端应用等环节的集成电路产业链。电子信息产业入选山东省战略性新兴产业集群和特色产业集群，正争创国家级战新产业集群。德州现有电子信息规上企业123家，去年实现主营收入近300亿元，其中半导体规上企业10家，实现营收70亿元，近五年来，半导体产业产值年均增长近20%。德州集成电路产业已成为全省半导体产业高质量发展的重要增长极。

     　　德州天衢新区是德州发展半导体产业的主阵地，目前，德州天衢新区依托中国有研“集成电路关键材料国家工程研究中心”，打造了占地800余亩，总投资93.4亿元的中国集成电路关键材料(德州)基地，包括8英寸、12英寸硅片、高纯溅射靶材、刻蚀设备用硅材料等七个项目。全部达产后将形成年产6英寸硅片180万片、8英寸硅片276万片、12英寸硅片360万片、12-18英寸硅单晶504吨、高纯溅射靶材4.3万块、高纯贵金属213吨，将成为北方最大的集成电路用大硅片生产基地，使山东省跻身硅材料产业国内第一方阵、靶材产业遥遥领先。

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