据美国媒体报道称,全力ASML已经获得荷兰官方的户交允许,在今年年底前向中国客户出口其部分先进工具。高端V光给中国客
按照ASML的刻机说法,在2023年的出口剩余时间里,ASML将能继续出货其NXT:2000i和更先进的全力DUV型号的产品,这些产品从9月1日起就受到限制。户交
至于2024年是高端V光给中国客不是可以继续,ASML则表示暂时不能确定。刻机
据ASML官网提供的出口信息,该公司目前在售的全力主流浸没式DUV光刻机产品共有三款,分别是户交:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。
ASML官网上关于这一台TWINSCAN NXT:1980Di的介绍,其中在分辨率方面,写到是大于等于38nm(可以支持到7nm左右),而这是指一次曝光的分辨率,事实上光刻机是可以进行多次曝光的。
(责任编辑:百科)