格隆汇10月11日丨至纯科技(603690.SH)投资者关系活动记录表显示，至纯公司湿法清洗设备可覆盖28纳米全工艺工序段并有重复订单，科技可覆在14及7纳米制程也有数台订单交付客户。公司盖纳工艺工序随着下游客户在先进制程中的湿法设备进一步发展，公司在先进制程中的清洗重点产品将有望放量。

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