原标题：北京：建设回收系统实现循环利用 用水大户变身节水高手

位于北京经济技术开发区的北京变身中芯国际集成电路制造有限公司，不但是建设节水芯片巨头，也是回收节水“高手”。这家用水大户凭借自建的系统循环工业废水回收系统，自建成以来已累计节水2400余万吨。实现按照昆明湖200万立方米容积计算,利用中芯国际节水量相当于12个昆明湖。

在中芯国际废水回收车间内，用水伴随着隆隆的大户机器声，回收的高手工业废水经过活性炭塔、保安过滤器、北京变身反渗透膜三道过滤，建设节水源源不断地汇入巨大的回收储水罐。

“虽然是系统循环工业废水，但如果白白排掉也是实现巨大浪费。”中芯国际厂务水科经理廉串海介绍，利用水是生命之源，对于中芯国际这样的芯片生产企业来说，水同样是重要的“生命线”。

在芯片生产过程中，对晶圆进行刻蚀是其中的重要步骤。刻蚀后的晶圆需要用超纯水进行清洗，而超纯水的制备，则需要使用大量自来水。仅此一项，该企业一天就要用掉近1万吨水。廉串海介绍，超纯水是比蒸馏水还要“纯净”的水，从自来水到超纯水，当中也有一部分损耗。

为了减少对自来水的消耗，中芯国际将目光投向了再生水源。在厂区的部分供水管线上，可以看到上面印有“小红门中水”的字样。廉串海介绍，在一些对水要求不高的工艺中，该企业已经用上了来自小红门、博大等再生水厂的再生水。

而真正的“大头”，则是来自厂区自己的回收水。自2002年建厂以来，中芯国际自筹资金，先后建设了三套废水回收系统，将水循环利用起来。“清洗产生的废水，会集中收集到水箱进行水质检测，随后进入回收系统，经过层层过滤去除污染物，检测合格的水会再次供应到超纯水设备。这样一来，就能减少使用自来水，而我们自己排下来的水，又可以进入生产循环，相当于多了一个水源。”

廉串海说，在这个过程中，处理系统主要监测的指标是TOC（总有机物）和电导率。过滤之后，水的电阻率要达到18兆欧以上，才能达到超纯水的要求。而剩下不达标的水也不会被浪费，在冷却塔等设备中，这些水也能物尽其用。“包括我们在超纯水制造中产生的废水，我们也会想办法利用起来，不让它直接排走。”随着该企业产能的扩大，厂区的废水回收系统也在不断扩建，节水能力不断提升。

作为同行业中最早用上再生水的企业，建厂至今18年来，中芯国际已累计节水2400余万吨。放眼整个北京经济技术开发区，万元GDP水耗连续多年保持在4立方米以内，为北京市平均水平的三分之一，用水效率达到国际先进水平。

(责任编辑：知识)