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中科飞测：纳米图形晶圆缺陷检测设备、关键尺寸量测设备的研发进展顺利

[娱乐] 时间：2024-04-27 22:35:21 来源：蓝影头条 作者：知识 点击：140次
中科飞测近期接受投资者调研时称，中科展顺纳米图形晶圆缺陷检测设备、飞测发进关键尺寸量测设备的纳米研发正按计划进行，研发进展顺利。图形

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