上海微电子装备(集团)股份有限公司成立于2002年3月,增资至亿法定代表人为干频,上海经营范围含半导体装备等的微电开发、设计、增资至亿制造、上海销售及技术服务等,微电由上海电气控股集团有限公司、增资至亿上海科技创业投资有限公司等共同持股。上海
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