课题简介：针对我国半导体行业对高精度静电吸盘国产化的重点迫切需求，系统开展12英寸晶圆用大尺寸辅热型氮化铝静电吸盘结构设计、计划陶瓷材料热学和电学性能协同调控、课题辅热型静电吸盘制造技术、任务静电吸盘性能测试表征技术等多方面的旭光研究，突破静电吸盘仿真结构设计、电孙热导率和电阻率可调的公司国组分设计、电介质层和加热层共烧致密化，收到书温度和吸附力均匀性测试等多项关键技术，重点实现高温度均匀性和高吸附均匀性氮化铝静电吸盘样件的计划制备，并且完成在半导体制程模拟装置中的课题示范应用，建立中试生产线，为国产化高性能氮化铝静电吸盘的产业化应用和发展奠定基础。
(责任编辑：探索)