10 月 16 日消息，中探据科技日报官方公众号消息，测器产化近日，关键中国散裂中子源（CSNS）探测器团队利用自主研制的技术界最积磁控溅射大面积镀硼专用装置，成功制备出满足中子探测器需求的碳化高性能大面积碳化硼薄膜样品。

▲ 图源 科技日报官方公众号

经过查询得知，硼薄相关薄膜单片面积达到 1500mm×500mm，膜实薄膜厚度 1 微米，现国全尺寸范围内厚度均匀性优于 ±1.32%，为业号称是大面“目前国际上用于中子探测的最大面积的碳化硼薄膜”。

据悉，中探研究团队经过多年技术攻关和工艺试制，测器产化攻克了溅射靶材制作、关键过渡层选择、技术界最积基材表面处理等对镀膜质量影响大的碳化关键技术，设计出了自主研制的磁控溅射大面积镀硼专用装置。

研究人员利用该装置制备了多种规格的碳化硼薄膜，并成功应用于 CSNS 多台中子谱仪上的陶瓷 GEM 中子探测器，从而实现了中子探测器关键技术和器件的国产化，为接下来研制更大面积的高性能新型中子探测器提供了强有力的技术支撑。

广告声明：文内含有的对外跳转链接（包括不限于超链接、二维码、口令等形式），用于传递更多信息，节省甄选时间，结果仅供参考，所有文章均包含本声明。

(责任编辑：综合)